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半導體式氣敏傳感器的分類及工作原理
★★★★★【文章導讀】：半導體式氣敏傳感器的分類及工作原理具體內容是：（1）電阻式氣敏傳感器基本原理是利用氣體在半導體表面的氧化還原反應導致敏感元件阻值變化而制成的。當半導體的功函數(shù)小于吸附分子的親和力時，吸附分子將從器件奪得電子而變成負離子吸附，半導體表面呈現(xiàn)電荷層。氧…
來源： 日期：2013-10-31 15:04:28 人氣：標簽：
（1）電阻式氣敏傳感器
基本原理
是利用氣體在半導體表面的氧化還原反應導致敏感元件阻值變化而制成的。
當半導體的功函數(shù)小于吸附分子的親和力時， 吸附分子將從器件奪得電子而變成負離子吸附 ， 半導體表面呈現(xiàn)電荷層。氧氣等具有負離子吸附傾向的氣體被稱為氧化型氣體或電子接收性氣體。
如果半導體的功函數(shù)大于吸附分子的離解能，吸附分子將向器件釋放出電子，而形成正離子吸附 。具有正離子吸附傾向的氣體有h2 、co 、碳氫化合物和醇類，它們被稱為還原型氣體或電子供給性氣體。
當氧化型氣體吸附到n 型半導體（sno2, zno) 上，還原型氣體吸附到p 型半導體(cro3) 上時，將使半導體載流子減少，而使電阻值增大。
當還原型氣體吸附到n 型半導體上，氧化型氣體吸附到p 型半導體上時，則載流子增多，使半導體電阻值下降。
n型半導體吸附氣體時器件阻值變化圖
規(guī)則總結：
氧化型氣體＋n型半導體：載流子數(shù)下降，電阻增加
還原型氣體＋n型半導體：載流子數(shù)增加，電阻減小
氧化型氣體＋p型半導體：載流子數(shù)增加，電阻減小
還原型氣體＋p型半導體：載流子數(shù)下降，電阻增加
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